酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太细的故障原因及处理方法

时间:2015-3-27 作者:dlz0099 分享到:

酸一碱二步法纹理蚀刻纹理太细的故障原因及处理方法

故障原因:

①酸性纹理预蚀刻液中铁离子含量太低
②酸性纹理预蚀刻液中锌离子含量太高
③酸性纹理预蚀刻液温度太高及处理时间太长
④酸性纹理预蚀刻HCI含蚤偏高
⑤碱性纹理增粗蚀刻液沮度太高且蚀刻 时间太长
⑥化学抛光时间太长,温度太高

处理方法 :

①通过分析铁离子浓度并补充到工艺规定范围
②通过分析锌的浓度并稀释以降低锌离子浓 度,也可根据经验补加铁
③降低酸性预蚀刻溶液温度并适当减少蚀刻时间,或通过试验选定最佳温度及时间关系
④分析HCl浓度并适当稀释溶液
⑤通过实脸选择最佳碱性纹理增粗蚀刻沮度及 蚀刻时间
⑥降低抛光温度缩短抛光时间

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成功案例