酸性纹理蚀刻蚀刻液调配及常见故障处理方法

时间:2014-8-25 作者:dlz0099 分享到:

酸性纹理蚀刻蚀刻液调配及常见故障处理方法

1.溶液配制及调整方法.

(1)酸性纹理蚀刻液的配制

①确定配制的体积并选择合适的工作缸。

②工作缸清洗干净后先加人所需体积2/3的清水,再加人所需质最的 NH4 HF2,边添加边搅拌使之完全溶解后,以同样方法加人(NH4 )2SO4和其他 添加剂。待完全溶解后,加水到规定体积。

③测定溶液pH值是否在工艺控制范围,试生产合格后即可进行量产.

(2)酸性纹理蚀刻液调整方法及维护溶液使用一段时间后,成分会发生较大 变化,为了保持蚀刻效果的一致性,必须对溶液进行定期分析调整。这一方法的调 整主要是根据经验进行,当发现处理时间明显加长,或有蚀刻不均匀现象即应进行 补加.溶液应定期进行过滤,清除缸内不溶物,保持溶液清洁。

2.常见故障处理方法 酸性纹理蚀刻常见问题现象及产生原因及处理方法见表5-43(供参考)。

5-43 5-43-2

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